�名122KEY WORDSPROJECT No.49メンバーRESEARCH CONTENT OF MEMBERSプラズマ表面加工装置の超高速化 プラズマCVDでの高速成膜について研究しています。表面加工（コーティング）を短時間で行うことにより生産性を向上させようとしています。高速加工を実現するために化学反応と流れ場をうまく組み合わせていることが特徴です。高速成膜の原理は明らかになっているので金型の表面加工へ応用するために金型の近傍でプラズマをどう生成するかが課題になっています。この研究は触媒や、電極材料など空隙率が高い堆積物の作製手法としても使用できます。異材接合法の高信頼性化プラズマを用いた材料表界面機能の制御 プラズマを用いて材料表界面の機能性・機 械 的 応 答 特 性を向 上する研 究を行っています。例えば、プラズマCVDで合成された炭 素 膜 により地 熱 発 電プラント内 の 部 材表面への不要堆積物が抑制できます。大気圧プラズマを活用してシリカナノ粒子を部材表面に強固に担持すると従来セラミックス材 料でしか 発 現しなかった 水 中での 超低 摩 擦 現 象 が、鋼 材 ベ ースの安 価 な部 材上でも発現します。これらは、しゅう動要素金型、工具、プラント部材、など幅広い分野に応用可能です。吉田 佳典西田 哲プロ セス機 序 の 理 解 ／ A I ／ I oT ／ 複 合 化 ／ 自 動 化 ／ 省 人 化（生 産 年 齢 人 口 減 へ の 対 応）／ 予 知 保 全 ／ C B M ／低 消 費 電 力 加 工 ／ 低 消 費 原 料 ／ 高 速 化針谷 徹新川 真人山下 実上坂 裕之工学部機械工学科、地域連携・スマート金型技術研究センター工学部機械工学科、工学部附属プラズマ応用研究センター工学部機械工学科、地域連携・スマート金型技術研究センター工学部機械工学科、工学部附属プラズマ応用研究センター地域連携・スマート金型技術研究センター工学部附属プラズマ応用研究センター工学部機械工学科、地域連携・スマート金型技術研究センター教授センター長准教授特任准教授准教授副センター長教授副センター長教授プラズマモニタリングとナノ材料合成 プラズマは、半導体から機械部品まで幅広い工業製品の製造プロセスで利用されています。 発光分光分析法やプローブ法などを用いることで、プロセス中のプラズマの状態を把握することができます。 このプラズマモニタリングによるプロセス監視は、製品生産における歩留まりを改善し、限られた資源の有効活用に貢献します。また、プラズマモニタリングによるフィードバックから、高制御プラズマによる省電力デバイスナノ材料の合成に関する研究にも取り組んでいます。溶融加工技術および金型の高度化 各種計測技術を活用して現象の可視化を行い、その情 報と数 値 シミュレーションを活 用することにより鋳造、射出成形、切削、金 属 A Mの現 象 解 明に取り組んでいます。また、ドメイン知識の塊でもある金型を工学的視点から総合的に議論することによって、金型技術の高度化、知能化を目指した研究も行っています。東海地域は世界有数のものづくり集 積 地 域 であり、その な か で 生 産加工の研究が果たすべき役割と責任は大きく、地域の課題解決と発展に資する活動をしています。 異種材料の接合法の開発や高ひずみ速度における変形現象の解明を行っています。 このプロジェクトでは異種材料の接合性能を向上させ、高機能部品の開発を推進します。接合法はオリジナルのもので、チタンと軟鋼、銅とアルミ合金の異材接合板を製作しました 。接 合 板 の 成 形 素 材 へ の 適 用 を目 指し、塑性変形能を明らかにします。これまでに衝撃吸収構造部材の開発や塑性成形法の開発などで企業との共同研究実績があり、変形や加工の分野を中心に支援したいと考えています。プロジェクトメンバーが取り組んでいる研究強連成サイバーフィジカルシステムに基づく生産プロセスの自動最適化 地 域 連 携 スマ ート金 型 技 術 研 究 センターで、主に金属加工プロセスの知能化を推進しております。サイバー（IoT、シミュレーション）とフィジ カル（プレス・� D プリンター、金 型）が 常 に連 携 をとり、兆 候 管 理（異常検知・停止）のみならずプロセス最適化（金型および加工機の自律的調整）か、AIによって逐次行われる知能化システムを構築します。生産年齢人口減少および技術伝承不 全 問 題 へ の 解 決 策として、深 刻 な 社 会ニーズに対応すべく社会実装を目指します。
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